金屬材料表面分析與鑒定
檢測項目
※SEM斷口觀察 + 微區污染EDS分析:
觀察金屬、塑料、陶瓷等固體材料的表面微觀形貌以及測量微小尺寸。分析固體表面微區含有的元素種類,各元素的 相對含量以及各元素在特定區域內的含量分布情況 。
※表面成份 + 深度 GD-OES分析:
既可以進行基體成分分析,如硬質合金材料,也可以進行表面成分-深度剖析,如PVD薄膜、電鍍層、熱處理硬化層、涂裝層、陽極氧化膜及化膜的表面工藝分析。
※制程質量缺陷分析

SEM/EDS
?功能: 微觀形貌觀察、微小尺寸量測、微區成分分析
?放大倍率: 5倍~30萬倍
?探測器分辨率: 133eV
?可分析元素范圍: Be(4)~U(92)

輝光放電光譜儀(GD-OES)
?功能: 基材成分測試、表面成分-深度剖析
?特點: 可得到產品表面成分隨深度的分布曲線
?深度范圍: 10nm~150μm
?成分范圍: 10ppm~100%
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